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ナノテクノロジーへの道を拓く イオン工学ハンドブック : 薄膜合成・加工 他

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管理番号 新品 :70041818417
中古 :700418184171
メーカー ナノテクノロジーへの道を拓く 発売日 2025/02/16 15:54 定価 25398円
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ナノテクノロジーへの道を拓く イオン工学ハンドブック : 薄膜合成・加工 他

商品説明

ナノテクノロジーへの道を拓くイオン工学ハンドブック:薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等

著者水野博之監修
平尾孝ほか編
出版社イオン工学研究所
刊行年平成15年5月発行
ページ数1126頁
サイズB5判
冊数1冊
ISBN4526053805

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